MicroChem光(guāng)刻膠也稱為(wèi)光(guāng)緻抗蝕劑，是一種光(guāng)敏材料，它受到光(guāng)照(zhào)後特性會發生(shēng)改變。光(guāng)刻膠主要用來(lái)将光(guāng)刻掩膜版上(shàng)的(de)圖形轉移到晶圓片上(shàng)。

　　光(guāng)刻膠有(yǒu)正膠和(hé)負膠之分。正膠經過曝光(guāng)後，受到光(guāng)照(zhào)的(de)部分變得容易溶解，經過顯影後被溶解，隻留下(xià)未受光(guāng)照(zhào)的(de)部分形成圖形；而負膠卻恰恰相(xiàng)反，經過曝光(guāng)後，受到光(guāng)照(zhào)的(de)部分會變得不易溶解，經過顯影後，留下(xià)光(guāng)照(zhào)部分形成圖形。

　　負膠在光(guāng)刻工(gōng)藝上(shàng)應用早，其工(gōng)藝成本低(dī)、産量高(gāo)，但(dàn)由于它吸收顯影液後會膨脹，導緻其分辨率（即光(guāng)刻工(gōng)藝中所能形成小(xiǎo)圖形）不如正膠，因此對(duì)于亞微(wēi)米甚至更小(xiǎo)尺寸的(de)加工(gōng)技(jì)術，主要使用正膠作(zuò)為(wèi)光(guāng)刻

　　MicroChem光(guāng)刻膠使用注意事(shì)項：

　　①若腐蝕液為(wèi)堿性，則不宜用正性光(guāng)刻膠

　　②看(kàn)光(guāng)刻機(jī)型式,若是投影方式,用常規負膠時(shí)氮氣環境可能會有(yǒu)些問(wèn)題

　　③負性膠價格成本低(dī)，正性膠較貴

　　④工(gōng)藝方面：負性膠能很(hěn)好(hǎo)地(dì)獲得單根線，而正性膠可獲得孤立的(de)洞和(hé)槽

　　⑤健康方面：負性膠為(wèi)有(yǒu)機(jī)溶液處理(lǐ)，不利于環境；正性膠屬于水(shuǐ)溶液，對(duì)健康、環境無害